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光刻膠領域,我國取得新突破

時間:2025-12-01 06:06:12 來源:素昧平生網

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  每經AI快訊,域國光刻技術是新突推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅動力之一。近日,光刻北京大學化學與分子工程學院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術,膠領首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的域國微觀三維結構、界面分布與纏結行為,新突指導開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的光刻產業(yè)化方案。相關論文近日刊發(fā)于《自然·通訊》。膠領

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